平衡流量計具有差壓流量計的優點，耐振動，對直管段要求比較低，出入現場我們要先了解平衡流量計的安裝要求，只有先了解平衡流量計我們才能更好的發揮它的特點。

大多數傳統的真空沉積工具使用壓力變送器來維持真空室中的氣體壓力，節流閥設置可能花費數千美元，它還需要一個單好的控制模塊來為閥門供電。